将微机电系统（MEMS）与光器件融合于一体的微光机电系统（MOEMS）是MEMS的一个重要的研究方向，它采用微细加工的技术手段，把微光学器件、微电子器件和微机械结构或装置集成在相兼容的基体材料上...
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...计、温度传感器、半导体发光元器件、水文传感器、射频MEMS的开关、谐振器与滤波器以及生物传感器等微机电(MEMS)、微光机电(MOEMS)新型传感器件为主的产品技术；积极开展系统应用(汽车、医用、电力与电源管理等)的技术研究。
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MEMS & MOEMS 和MOEMS的
MOEMS technology MOEMS技术
MOEMS accelerotneter 微光机电加速度计
MOEMS Optical switch MOEMS光开关
reflection mode MOEMS 反射式微光机电系统
This paper proposes MOEMS devices, make process and packaging technology.
文章介绍了MOEMS器件，主要就其制作工艺和封装技术做了讨论。
Collimate and coupling technique is the key technology of MOEMS optical array.
准直、耦合技术是MOEMS光开关阵列的一项关键技术。
MOEMS optical switch based on electrostatic driving and vertical micro mirror technology is presented.
提出了一种基于静电驱动和垂直微反射镜技术的MOEMS光开关。
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