最近的研究表白微加工（Micromaching）为鼓动化学工程、材料工程、生物学、物理化学的前沿畅旺发财提供了壮健的工具。
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Bulk Micromaching 体硅微制造 ; 加工技术 ; 型微加工
Surface Micromaching 表面微加工 ; 微加工技术
laser micromaching 会聚激光扫描
electrochemical micromaching 掺粉抛光
surface-micromaching process 表面加工技术
Surface-micromaching technology 表面微机械加工技术
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Introduced a new bulk silicon micromaching technology to replace SOI wafer with normal silicon wafer in the application of sidewall electrical connection.
介绍了一种全新的体硅微机械工艺，可以取代SOI硅片而直接在普通硅片上对不同的侧壁电学导通部分进行绝缘。
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