atomic layer epitaxy 原子层外延 ; 最初称为原子层外延 ; 又称原子层沉积或原子层外延 ; 称为原子层外延
high resistivity layer epitaxy 高阻层外延
laser atomic layer epitaxy 激光原子层外延
electrochemical atomic layer epitaxy 电化学原子层外延
thick layer epitaxy 厚层外延
Electrochemistry Atomic Layer Epitaxy 电化学原子层外延
thin layer silicon epitaxy 薄层外延
metal- organic atomic layer epitaxy 金属有机化合物原子层外延
Vertical PNP Transistor whose base is epitaxy layer was used as output. The collector of the Vertical PNP transistor was set on the back of the chip with low resistance P+ substrate as ohm contact.
在工艺中，采用了SMART功率集成技术实现电路的大功率，基区是外延层的纵向PNP晶体管作为输出，将集电极置于芯片背面，采用低电阻率P~+衬底作为欧姆接触。
参考来源 - 低漏电流功率开关集成电路·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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