metal- organic atomic layer epitaxy
定义 中文名称： 金属有机化合物原子层外延 英文名称： metal- organic atomic layer epitaxy 定义： 以金属有机化合物为原料生长单原子薄层的外延工艺。 应用学科： 材料科学技术（一级学科）； 半导体材料（二级学科）；半导体材料制备（二级学科）
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metal- organic atomic layer epitaxy
金属-有机原子层外延
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