TiN/AlN纳米多层膜的研究 关键词 纳米多层薄膜;反应溅射;调制结构;显微硬度 [gap=718]Key words: nano-multilayers; reactive sputtering; modulation structure; microhardness
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incommensurate modulation structure 非公度调制结构
modulation doped structure 调变掺杂结构
structure modulation 结构调制
manual modulation periodic structure 人工调制周期性结构
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