3.30 组成深度分布（composition depth profile,CDP） 测得化学或原子组成为表面法线方向距离的函数。
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The composition depth profile and chemical states of nitrogen-implanted layers were determined using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS).
利用X射线光电子能谱（XPS）研究了注氮层中元素的深度分布和化学结构；
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