干法刻蚀的非等向蚀刻性(Anisotropic Etch)、刻蚀速率、选择比和负载效应（Loading effect）成为干法刻蚀的四大主要研究对象。
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非等向性蚀刻 Anisotropic Etching
非等向蚀刻性
Non-isotropic etch
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