干蚀刻最大的优点即是非等向性蚀刻 （Anisotropic Etching），然而选择性却比湿蚀刻低，这是因为干蚀刻的蚀刻机制基本上是 一种物理交互作用；因此离子的撞击不但可以移除被蚀刻的薄膜，也同...
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非等向蚀刻性 Anisotropic Etch
非等向性蚀刻
Non-isotropic etching
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