PPD也叫 渠道火花烧蚀法（ Channel Spark Ablation ,CSA ） , 或者脉冲电子束沉积（ Pulsed Electron Deposition ， PED ） , 它是利用中空阴极管中的长管（通道）产生脉冲等离子体的毫微秒脉冲轰击消融旋转的靶材，原料蒸气沉积...
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或者脉冲电子束沉积 PED ; Pulsed Electron Deposition
脉冲电子束沉积
Pulsed electron beam deposition
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