PPD也叫 渠道火花烧蚀法( Channel Spark Ablation ,CSA ) , 或者脉冲电子束沉积( Pulsed Electron Deposition , PED ) , 它是利用中空阴极管中的长管(通道)产生脉冲等离子体的毫微秒脉冲轰击消融旋转的靶材,原料蒸气沉积...
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PPD也叫 渠道火花烧蚀法( Channel Spark Ablation ,CSA ) , 或者脉冲电子束沉积( Pulsed Electron Deposition , PED ) , 它是利用中空阴极管中的长管(通道)产生脉冲等离子体的毫微秒脉冲轰击消融旋转的靶材,原料蒸气沉积...
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