【离子束投影光刻】

离子束投影光刻

ion-beam projection lithography

...004版本中,已将PEL光刻技术打消,因为该技术只是作为地域性的解决方案)七、离子束投影光刻(IPL,Ion-Beam Projection Lithography)与电子束直写光刻技术近似。不需要掩膜板,应用高能粒子束直写。

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IPL

(在ITRS2004版本中,已将PEL光刻技术打消,因为该技术只是作为地域性的解决方案)七、离子束投影光刻(IPL,Ion-Beam Projection Lithography)与电子束直写光刻技术近似。不需要掩膜板,应用高能粒子束直写。

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Ion beam project lithography

离子束投影光刻

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短语

离子束投影光刻技术 Ion Projection Lithography ; IPL

离子束投影光刻

Ion beam projection lithography

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