BPSG 来源: 本网站 | 收藏到您的QQ书签 | 加入本地收藏夹 相关: BPSG BPSG 硼磷硅玻璃(boro-phospho-silicate-glass，BPSG): 这是一种掺硼的SiO2玻璃。可采用CVD方法(SiH4+O2+PH3+B2H6，400oC~45
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掺硼磷硅玻璃 BPSG
硼磷硅酸盐玻璃 BPSG
掺杂硼磷的硅玻璃 Borophosphosilicate glass
含有硼磷的硅玻璃 BPSG
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次大气压硼磷硅玻璃（简称SABPSG）开始凭借其优良的性能被广泛应用于0。
With the excellent performance sub-atmospheric pressure boron phosphorus silicon glass (SABPSG) has been widely applied in the DRAM semiconductor manufacturing of 0.
youdao
硼磷硅玻璃boro-phospho-silicate-glassBPSG 这是一种掺硼的SiO2玻璃可采用CVD方法SiH4+O2+PH3+B2H6400oC~450oC来制备BPSG与PSG磷硅玻璃一样在高温下的流动性较好广泛用作为半导体芯片表面平坦性好的层间绝缘膜
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