而且，整个表面可以覆盖有例如二氧化硅、硼硅酸盐玻璃(BSG)、磷硅酸盐玻璃(PSG)或者硼磷硅酸盐玻璃(BPSG)的钝化层(未示出)，该钝化层经过CMP平坦化和蚀刻以提供接触孔，所述接触孔随后经金属化处理以提供触点。
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硼磷硅酸盐玻璃
Borophosphate silicate glass
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