abbr. rie
misc. reactive ion etch
Reactive Ion Etch(活性离子腐蚀), 此释义来源于网络辞典。
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对GaN的干法腐蚀研究方法包括 活性离子腐蚀（RIE）、电子回旋共振（ECR）等离子 体腐蚀、化学辐射离子束腐蚀（CAIBE）、磁控活性 离子腐蚀（MIE）等，目前使用最多的是电磁感应耦...
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耐活性离子腐蚀性 reactive ion etch resistance
活性离子腐蚀系统 reactive ion etch system
活性离子束腐蚀 reactive ion beam etch ; ribe
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