...。由于湿法酸刻蚀的各向同性效应，亚表面层的划痕和坑洞等结构性缺陷会在几何尺度上被不断复制和延展，导致元件表面粗糙度增加，面形劣化。反应离子刻蚀(RIE)是一种物理轰击和化学刻蚀相结合的刻蚀过程，通过氟碳气体放电产生活性基团，与熔石英材料表面相互作用，各向异性地去除材料表面...
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对GaN的干法腐蚀研究方法包括 活性离子腐蚀（RIE）、电子回旋共振（ECR）等离子 体腐蚀、化学辐射离子束腐蚀（CAIBE）、磁控活性 离子腐蚀（MIE）等，目前使用最多的是电磁感应耦...
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Rie Tanaka 田中理惠
Rie Miyazawa 宫泽理惠 ; 主演宫泽理惠
Rie Tomosaka 友阪理惠 ; 友坂理恵
Rie Yamaguchi 山口理惠 ; 山口理恵
Rie Kugimiya 钉宫理惠 ; 钉宫理恵
Rie Kitahara 北原里英
Tanaka Rie 田中理惠 ; 田中理恵
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DOE's fabrication techniques mainly include laser beam or electron beam writing, RIE, ion milling and thin film deposition.
衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积。
Mechanism of dry etching damage and main causes for RIE induced - damage are investigated with RIE technique by utilizing PIN photodiodes.
采用rie法，利用PIN光电二极管，研究了干法腐蚀损伤机理及引起损伤的主要因素。
Objective To discuss the pathogenesis, etiology, clinical manifestations, diagnosis, treatment and prognosis of right-sided infective endocarditis (RIE).
目的对右心感染性心内膜炎(rie)的发病机制、病原学、临床特点、诊断、治疗和预后等方面进行讨论。
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