朗缪尔探针是指把一根除了端点工作部分以外其余部分均用绝缘材料覆盖的细金属丝插入等离子体内部,使其端点工作部分与等离子体接触,而另一端通过一可调电源与产生等离子体的电极相连,改变这金属丝对等离子体的电位,按照带电粒子在拒斥场作用下的波尔兹曼关系可确定等离子体温度和密度等重要参数,这样的金属丝称为朗缪尔探针(又称电探针)。
静电探针,又称为朗缪尔探针(Langmuir probe),是最古老的、但又最常用的低温等离子体诊断方法,其具有质量小、结构相对简单、所获信息丰富等特点,在等离子体诊断中应用十分...
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Langmuir probe is used as the measurement of the basic parameters of the plasma. Interpreted the working of single and double Langmuir probe.
进而采用了朗缪尔探针对等离子体的基本参数进行了测量。
参考来源 - 低气压辉光放电等离子体灭菌消毒装置的研究While measuring radio frequency plasma’s parameters by Langmuir probe, the I-V characteristic curve is always distorted by electromagnetic interference, and this influences the parameters calculation and analysis.
利用朗缪尔探针检测射频耦合等离子体特性参数时,测得的伏安特性曲线会受电磁干扰而产生畸变,从而影响等离子体参数的计算和特性分析。
参考来源 - SG滤波在朗缪尔探针信号处理中的应用·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
利用朗缪尔静电双探针诊断了蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度及分析其分布规律,并分析了气压和功率对等离子体分布的影响。
The characteristic of spatial distribution of plasma ion density in reaction chamber were diagnosed by a Langmuir double probe, and the effect of Ar pressure and RF power were also investigated.
本文利用基于虚拟仪器的朗缪尔双探针系统对电弧离子镀等离子体进行了诊断研究。
The Langmuir double probe system based on Virtual Instrument was used to diagnose arc ion plating plasmas.
并与传统的朗缪尔双探针法作比较。 两种方法测试结果颇相符合。
The results obtained have been compared with those of the classical Langmuir double probe method, being quite close to each other.
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