采用射频磁控溅射法在室温柔性衬底PET上制备了掺锆氧化锌（ZZO）透明导电薄膜。利用不同方法提高了ZZO薄膜的电阻率而未使其可见光透过率降低。
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掺锆的氧化锌 ZZO
铝锆共掺杂氧化锌 ZAZO
掺锆氧化锌
Zirconium-doped zinc oxide
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