利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的铝锆共掺杂氧化锌(ZAZO)透明导电薄膜.讨论了溅射功率对ZAZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响.
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铝锆共掺杂氧化锌
Aluminum zirconium co-doped zinc oxide
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