简言之，CMOS MEMS是在标准的CMOS制程外，再辅以MEMS特有之体型(bulk)或面型(surface)矽微加工技术 (silicon micromachining)，即可在矽晶圆上制作出微米等级悬浮结构，使得这些微结构可以产生机械运动或形变等行为。
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以硅为基础的微机械加工工艺往往归纳为两大类，即 表面微加工技术（Surface Micromaching）和体微加工技术（Bulk Miemmaching），表面微加工技术是把MEMS的 “机械（运动或传感）部分制作在沉积于硅晶体的表面膜上，然后使...
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...混合信号/射频集成电路设 计技术； MEMS技术等。2013-7-5北京理工大学微电子所12 微电子制造工艺?微加工技术（Microfabrication）是制造MEMS的 主要手段。
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The consequences are benefit to Silicon electrochemical micromachining technology and the technology will be hopeful to become an new technology about Silicon deep-holes etching technology.
其结果对进一步开展这方面的研究工作具有指导意义，在进一步深入开展研究电化学体硅微加工技术时，可有望成为实现硅深孔列阵加工的新技术。
参考来源 - 硅微通道列阵电化学微加工技术研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。
A novel electro-thermal actuator is presented by using non-silicon micro fabrication technology.
利用微加工技术，我们还将微加热器和温度传感器集成到本芯片上。
Using micromachining technology, we also integrated micro-heater and temperature sensor on the chip.
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。
The design and fabrication of a novel deformable mirror based on silicon micromachining technology was presented in this paper.
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