最近儿 年来，微机械系统逐渐向光学方面渗透，并在九十年代中后期形成了全新的技术领域一 微光电机械系统（MOEMS），或称微光机电系统。
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微光电子机械系统 MOEMS ; Micro Opto-electro Mechanical System
微型光电机械系统 MOEM
及微光电子机械系统 Micro Opto-electro Mechanical System
微光电机械系统
Micro-electro-mechanical system
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