将微光学、微电子、微机械结合起来,就可产生一类更新、应用领域更广的器件—— 微型光电机械系统 ( MOEM ),可能带动另一类商用设备如振镜、激光扫描器、光电快门和动态微镜显示仪等工业化进程。
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微型光电机械系统
Micro photoelectric mechanical system
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通信是微型光电机械系统技术的一个非常重要的应用领域。
Communication is a very important application domain of micro electro opto mechanical system (MOEMS).
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