...tive Photoresist) –负光刻胶 (Negative Photoresist) • 蚀刻 (Etching) –湿式蚀刻 (Wet Etching) – 干式蚀刻 (Dry Etching) • 蒸镀 (Evaporation) • Lift-off 光刻 (Photolithography) • 光刻胶 (Photoresist)是一种溶液，经紫外光曝光后会变得很 硬而...
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干式蚀刻系统 dry etching system
干式网点蚀刻 Dry Dot Etching
干式蚀刻
Dry etching
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本发明提供一外延沉积工艺，其包含干式蚀刻工艺与后续的外延沉积工艺。
An epitaxial deposition process including a dry etch process, followed by an epitaxial deposition process is disclosed.
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