《半导体科技》 ); 在体硅和绝缘体上硅SOI相结合的衬底上,采用高k值介质代替SiOx栅介质。在保持与SiOx相同等效氧化层厚度(EOT, equivalent oxide thickness)的前提下,高k值薄膜具有更低的漏电流。此外,SOI衬底的采用还减弱了短沟道效应; 从二维平面晶体
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相同等效氧化层厚度 equivalent oxide thickness ; EOT
同等效氧化层厚度
Same thickness as equivalent oxide layer
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