光学邻近效应 (Optical Proximity Effect, OPE)是由于部分相干成像过程中的非线性空间滤波，像强度频谱的能量分布和位相分布相对理想像频谱有一定畸变，并最终大大降低了成像质量，即引发光学邻近效应。
...网走线相对位置及布线线形对其光学邻近效应的影响,通过相应的光刻模拟模型定义了用于估计光学邻近效应(optical proximity effect,OPE)的OPE费用函数,并采用OPE费用阈值控制Steiner树的生长方向和走线路径的选择,同时兼顾线网长...
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光学邻近效应修正 Optical Proximity Correction ; optical proximity effect correction ; OpticaI Pmximity correctjon
光学邻近效应校正 Optical Proximity Correction ; OPC
即光学邻近效应 Optical Proximity Effect ; OPE
包括光学邻近效应修正 Optical Proximity Correction ; OPC
产生光学邻近效应 Optical Proximity Effect
被称为光学邻近效应 OPE ; optical proximity effect
所谓的光学邻近效应 OpticalProximityEffect ; OPE
这被称为光学邻近效应 optical proximity effect
即产生光学邻近效应 Optical Proximity Effect ; OPE
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