Optical Proximity Correction
...TABLE_ HIDDEN_END -->应用材料新推出OPC Check产品,这是一款以可自动执行光学邻近效应校正(optical proximity correction,OPC)为基础的系统,能与Applied VeritySEM量测系统结合使用。
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光学邻近效应校正(opticalproximity effectcorrection,OPC)技术是一种减小和改善邻近效应的掩膜版改进技术。
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