体微加工技术(Bulk Micromachining)指通过光 刻和化学刻蚀去除部分基体或衬底材料,从而得到 所需要元件的体构形。该技术主要包括硅的湿法和 干法刻蚀工艺。
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体微加工（bulk micromachining）是在硅衬底里制作微机械的运动部件，根据需 要选择性的移除无用部分而制作出指定的微结构，体微加工技术已应用于很多产 ．8- 醢基...
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silicon bulk micromachining 加工 ; 体硅工艺
bulk-micromachining technology 体硅工艺
bulk micromachining technology 体微机械加工技术
silicon bulk micromachining technology 体硅微机械工艺
bulk silicon micromachining 体微机械加工
以上来源于: WordNet
Using bulk micromachining and silicon bonding we can achieve high-performance full-silicon sandwich accelerometer.
采用体微机械加工技术和硅硅键合技术可以实现高性能的加速度传感器。
A novel electrostatic actuated deformable mirror with continuous facet is designed and fabricated by using silicon bulk micromachining technology.
基于体硅微加工技术设计并制作了一种新型的采用静电驱动的连续面型可变形反射镜。
Compared with bulk micromachining, the surface micromachining has the advantages of low manufacturing cost and easy integration with CMOS circuits.
在加工工艺方面，与体微机械加工相比表面微机械加工具有工艺简单，容易与CMOS电路集成等优点。
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