微型机电系统（Micro Electro Mechanical System: MEMS）是指那些外形轮廓尺寸在毫米量级以下，构成元件是微米量级的可控制、可运动的微型机电装置，它是自微电子技术问世以来，人们不断追求高新技术微型化的必然结果。
...号处理装置、接口、通信等为一体，几何尺寸小于mm3的微型机电一体化产品，也称微型机电系统（micro electro mechanical system，MEMS），通常用纳米、微米或毫米级单位进行度量，具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和智能化程度高等特点。
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微型机电系统制造服务 MEMS Foundry
了微型机电系统 Micro Electro Mechanical Systems
微型光机电系统 MOEMS
微型步进电机系统 Mini-Stepper Motor and Driver
微型/纳米机电系统 MEMS/NEMS
微型燃气轮机发电系统 MTGS
微型光电机械系统 MOEM
微型动力机电系统 Power micro electromechanical systems ; POWER MEMS
生物微型机械电子系统 BIOMEMS
目前，微小型或微型机电系统产品是高附加值的高科技产品。
At present, microminiature or miniature electromechanical systems products are high value-added high-tech products.
微型机电系统将活动的机械部件、传感器和硅片上的电子电路集成在一起。
Microelectromechanical systems integrate moving mechanical elements, sensors and electronics on pieces of silicon.
微型机电系统技术是机械，传感器，电子，精密加工，半导体等技术的结合。
Micro-Electro-Mechanical-System is the integration of mechanical elements, sensors, actuators, and electronics micro-fabrication technology.
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