Optical Proximity Correction
...维透射系统的仿真程序SPLAT的特点,并用SPLAT实现了一种新的照明结构,为实际开发光学邻近校正(OPC,Optical Proximity Correction)仿真工具增加了新的功能.
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...由于正确地表征了实际工艺的特性,模拟结果显示,多参数光刻胶模型更适于实际开发的光学邻近校正(opticalproximitycorrection,OPC)仿真工具.
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短语
例如光学邻近校正
optical-proximity correction
光学邻近校正技术
Optical Proximity Correction
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OPC
光学邻近效应校正
Optical Proximity Correction
;
OPC
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