- 1. 反应离子刻蚀: Reactive-ion etching
反应离子刻蚀（Reactive ion etch）是在等离子中发 生的。 随着材料表层的“反应-剥离-排放”周期循环，材 料被逐层刻蚀到制定深度。
dict.youdao.com - 2. 反应离子刻蚀: RIE
...。由于湿法酸刻蚀的各向同性效应，亚表面层的划痕和坑洞等结构性缺陷会在几何尺度上被不断复制和延展，导致元件表面粗糙度增加，面形劣化。反应离子刻蚀(RIE)是一种物理轰击和化学刻蚀相结合的刻蚀过程，通过氟碳气体放电产生活性基团，与熔石英材料表面相互作用，各向异性地去除材料表面...
dict.youdao.com - 3. 反应离子刻蚀: RIE Etching
金属三维微结构加工技术的研究 关键词：MEMS；微加工；反应离子刻蚀；电镀；金属微结构 [gap=1239]Key Words：MEMS；Micmfabricafion；RIE Etching；Electroplating；Metal Micro Structure
dict.youdao.com - 4. 反应离子刻蚀: RIE-Reactive Ion Etch
目前流行的典型设备为 反应离子刻蚀 （ RIE-Reactive Ion Etch ）系统。它已被广泛应用于微处理器（CPU）、存储（DRAM）和各种逻辑电路的制造中。
dict.youdao.com - 5. 深反应离子刻蚀: DRIE
dict.youdao.com - 6. 深反应离子刻蚀: Deep Reactive Ion Etching
dict.youdao.com - 7. 反应离子刻蚀法: Reaction Ion Etch
dict.youdao.com - 8. 反应离子刻蚀法: Reactive Ion Etching
dict.youdao.com - 9. 反应离子刻蚀延迟效应: RIE LAG
dict.youdao.com - 10. 磁电管反应离子刻蚀: Magnetron Reactive Ion Etch
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