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但是，其问题在于蚀刻剂(etchant)和纯水的使用量大、废液量多。 一般在进行干式蚀刻时，为了除去表面的部分固化的光刻胶，会追加等离子灰化工序，其成为设备成本、...
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... Etch 刻蚀 Etchant 刻蚀剂 Etching mask 抗蚀剂掩模 ...
dict.youdao.com - 4. etchant solution: 腐蚀溶液
dict.youdao.com - 5. anisotropic etchant: 蛤异性腐蚀剂
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dict.youdao.com - 7. chemical etchant: 化学腐蚀剂
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