但是，其问题在于蚀刻剂(etchant)和纯水的使用量大、废液量多。 一般在进行干式蚀刻时，为了除去表面的部分固化的光刻胶，会追加等离子灰化工序，其成为设备成本、...
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etchant solution 腐蚀溶液
etchant gas 腐蚀气体
chemical etchant 化学腐蚀剂
gas etchant 气体腐蚀剂
selective etchant 选择腐蚀剂
ammonium fluoride etchant 氟化铵浸蚀剂
silicon etchant 硅腐蚀剂
N any acid or corrosive used for etching 镂蚀剂
More often, all of the materials exposed to the etchant have a finite etch rate.
通常，所有暴露在刻蚀剂中的材料都具有一定的刻蚀速率。
It was relative to the etching depths, temperature and the etchant proportion and types.
凸角侧向腐蚀程度与腐蚀深度、腐蚀温度、腐蚀剂配比等诸多因素有关。
The PI pattern quality is affected by the PI precuring process and the etchant concentration.
聚酰亚胺湿法腐蚀图形的质量受聚酰亚胺的预固化工艺条件和腐蚀液浓度影响。
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