涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。 涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
... molecular drag pump coupling 分子空气泵联轴器 Turbo-Molecular Pump 轮分子帮浦 ; 各式涡轮分子泵及控制器 ; 分子帮浦 Turbo Molecular Pump 涡轮分子泵 ; 过轮式分子泵 ; 分子泵 ...
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...、为什么要先操作这一步 通常FIR腔的排空需要用到两级气体泵，第一级是机械泵（backing pump），第 二级涡轮分子泵（Turbo pump） 其启动气压低于10 -2 mBar，对于1中的情况，要抽到10 -5 mBar以下，这一过程通 常需要十几个小时。
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...EDWARDS爱德华真空泵选择几乎每种干式刻蚀制程都需要使用涡轮分子泵 (TMP) 来实现反应离子刻蚀 (RIE) 系统所需的低压。Edwards 发明了第一款 TMP，并且继续使用新技术和性能挑战该行业。
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普发涡轮分子泵配件 PFEIFFER
在涡轮分子泵的前级侧充气，能强制使碳氢化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室。
Turbo molecular pump in the first grade side of the inflatable, can force the hydrocarbons into the immediate adoption of turbo-molecular pump chamber.
综述了涡轮分子增压泵的研究现状与进展。
The present situation and advance in development of a spiral grooved turbo booster pump are reviewed.
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