... 换向装置reversing device 基片加热装置substrate heating device 基片冷却装置substrate colding device ...
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基片加热装置
Substrate heating device
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通过对基片加热材料的微波设计，在MPCVD装置中获得大于基片台直径的均匀温度分布区。
By microwave designing for substrate heating materials, the larger uniform temperature field areas than the diameter of substrate holder in MPCVD device is obtained.
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