除了制造高质量单晶硅和采用无缺陷工艺之外,又以“动态”缺陷的概念,用吸杂(Gettering)方法,在非器件有源区充分控制和利用一些缺陷来减少或消除器件有源区及其附近的缺陷。其
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欧洲呼吸杂志 European Respiratory Journal ; Eur Respir ; ERJ
中华结核和呼吸杂志 Chin J Tuberc Respir Dis ; Chinese Journal of Tuberculosis and Respiratory Diseases
国际呼吸杂志 International Journal of Respiration
呼吸杂音 Breath Noise
磷吸杂 phosphorus gettering
本征吸杂工艺 [电子] intrinsic gettering technology
损伤吸杂工艺 [电子] damage gettering technology
内吸杂 intrinsic gettering ; inner gettering
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三种吸杂方式都能明显提高多晶硅的少子寿命。
All these three ways can improve the minority carrier lifetime effectively.
多晶硅能促进硅片内的氧沉淀成核和生长，起内吸杂作用。
The polysilicon can enhance oxygen precipitation nucleating and growing, acting as the intrinsic gettering.
将快速热处理（RTP）引入到快中子辐照掺氮直拉硅的内吸杂工艺中。
Rapid thermal process (RTP) was used in the intrinsic gettering (IG) process of fast neutron irradiated CZSi.
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