八、去疵(Gettering)：用喷砂法将晶片上的疵瑕与缺陷感应下半层，以利于后序加工九、打光(Polis你好ng)：对于晶片的边沿以及外貌举行打光措置惩罚，一...
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硅片清洗（wafer cleaning）：清楚硅片上的污染物（包括有机物和光刻胶） 。吸杂（gettering）：把硅片中的重金属离子和碱金属离子从有源区引到不重要的区域。3，给出半导体制造中沾污及致命缺陷的定义。
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wafer gettering 晶片吸除 ; 芯片除气
diffusion gettering 扩散吸除
laser gettering 激光吸除
ion implant gettering 离子注入吸除
ion implantation gettering 离子注入吸除
final gettering 最后吸气 ; 最后蒸发
internal gettering 内部吸器
external gettering 外部吸器 ; 扩张接线板
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N a person or thing that gets 获得者
V to remove (a gas) by the action of a getter 消除(气体)
Gettering materials may be optionally used.
可任选地使用吸气材料。
The polysilicon can enhance oxygen precipitation nucleating and growing, acting as the intrinsic gettering.
多晶硅能促进硅片内的氧沉淀成核和生长，起内吸杂作用。
Rapid thermal process (RTP) was used in the intrinsic gettering (IG) process of fast neutron irradiated CZSi.
将快速热处理（RTP）引入到快中子辐照掺氮直拉硅的内吸杂工艺中。
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