... 深反应离子刻蚀 DRIE 反应离子刻蚀法 Reaction Ion Etch 反应离子刻蚀机 RIE ; Reactive Ion Etcher ...
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干法黑硅制绒工艺为反应离子刻蚀法(Reactive Ion Etching,RIE),该方法是等离子体在电场作用下加速撞击硅片,在硅片表面形成纳米结构,从而降低多晶硅片的反射率。
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及反应式离子蚀刻法 Reactive Ion Etch
反应离子刻蚀法
Reactive ion etching
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