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反应离子刻蚀法

网络释义

  Reaction Ion Etch

... 深反应离子刻蚀 DRIE 反应离子刻蚀法 Reaction Ion Etch 反应离子刻蚀机 RIE ; Reactive Ion Etcher ...

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  Reactive Ion Etching

干法黑硅制绒工艺为反应离子刻蚀法Reactive Ion Etching,RIE),该方法是等离子体在电场作用下加速撞击硅片,在硅片表面形成纳米结构,从而降低多晶硅片的反射率。

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短语

及反应式离子蚀刻法 Reactive Ion Etch

有道翻译

反应离子刻蚀法

Reactive ion etching

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