...与应用研讨会 征稿主题一,半导体材料:1 化合物半导体材料(Compound Semiconductor Materials)2 积体电路相关材料(ULSI Materials)3 MOS
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ulsi materials
ulsi材料
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Various CVD technologies for preparing low dielectric constant materials in ULSI circuits are summarized.
综述了制备uls I低介电常数材料的各种CVD技术。
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