...般的金属來得多，所以对于超浅接面元件所使用的钴金属厚度就 必须减少，并且当钴在进行矽化反应时，其对自生氧化层(Native Oxide)的存在极为敏感，不过此问题已借由在矽化过程中覆盖一被覆 层的方法解决了。但消耗大量矽之问题则尚未找出一完善方法。
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...py(光谱放射) Mass Spectroscopy(质谱分析) 微粒(Particle) 有机物(Organic) 微粗糙(Micro-roughness) 自然氧化物(Native Oxide) 洗净程序(Sequence) 化学配方(Recipe) 离子纯水(DI water) 化学品(Chemicals) 气体(Gases) 洗濯槽(Rinse) 洗净功能(Recipe Capa...
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铜对铜的热压接合制程有两种：第一种使用铜与原生氧化物（Native Oxide）；第二种使用铜与有机钝化层（如BTA），此钝化层是在铜双镶嵌制程（Copper Dual Damascene Process）的Post-CMP清洗时沉积于金属...
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...氧化层(Gate Oxide)的厚度，已大幅下降，因此尚要考量洗净后，晶圆表面的微粗糙度(Micro-roughness)，及俱生氧化物(Native Oxide)之清除，以达到半导体组件(Device)超薄门极氧化层(Ultra-Thin Gate Oxide)的电性参数及特性(Electrical Parameters and Characte...
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Wafer pairs with bonding interface being native oxide or thermal oxide have different bonding behavior in the annealing process, which were investigated and compared.
将硅本征氧化层与硅热氧化层两种键合界面在退火过程中的行为进行了理论分析与比较。
A three layer of aluminum exposed to atmosphere is identified: the aluminum and its native oxide, the corrosion layer atop oxide aluminum, and a surface contamination layer.
暴露于大气中的铝表面呈现三层结构，即氧化铝和氢氧化铝层、其上的腐蚀产物层和最上层的污染物沉积形成的污染物层。
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