新的实验中，该研究小组使用新型的Titand电子显微镜聚焦离子束（FIB）作为研究工具。研究人员首先在蓝宝石表面镀上一层0.6微米厚的金，再将样品加热到两种物质达到平衡状态。
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1、电子束刻划机（Electron beam lithography）和聚焦离子束（Focused ion beam）刻蚀机工艺研发工程师1名（岗位一）：
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本文结合生产工艺的实际情况,采用统计方法首先对某工艺环节的ESD现象进行定位,在此基础上结合聚焦离子束(focus ion bond,FIB)等试验结果,对其机理进行认真的分析研究,从设计和工艺改善两个方面出发,提出解决方案,收到了良好的改善...
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Using focused ion beam(FIB) method,we produced a Se nanowire MOSFET for the first time,and study its electrical properties.
用聚焦离子束(FIB)方法,我们制作了Se纳米线MOSFET,并研究了其电学特性。
参考来源 - 原子层淀积超薄TiN和Al·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
对聚焦离子束曝光技术作了介绍。
In this paper, Focused Ion Beam Lithography technology and is introduced.
建立了一台简单实用的单级透镜聚焦离子束(FIB)系统。
A simple and practical single-lens focused ion beam (FIB) System has been built.
用数值模拟方法研究了聚焦离子束系统中微波离子枪的束光学性能。
The ion beam optics of a microwave ion gun for a focused ion beam (FIB) system is investigated numerically in this article.
液态金属离子源 离子源是聚焦离子束系统的心脏，真正的聚焦离子束始于液态金属离子源的出现，液态金属离子源产生的离子具有高亮度、极小的源尺寸等一系列优点，使之成为目前所有聚焦离子束系统的离子源。液态金属离子源是利用液态金属在强电场作用下产生场致离子发射所形成的离子源[1、2]。液态金属离子源的基本结构如图1所示 在源制造过程中，将直径0.5mm左右的钨丝经过电化学腐蚀成尖端直径只有5－10μm的钨针，然后将熔融的液态金属粘附在钨针尖上，在外加强电场后，液态金属在电场力作用下形成一个极小的尖端（泰勒锥），液态尖端的电场强度可高达1010V/m。在如此高的电场下，液态表面的金属离子以场蒸发的形式逸出表面，产生离子束流。由于液态金属离子源的发射面积极小，尽管只有几微安的离子电流，但电流密度约可达106A/cm2，亮度约为20μA/sr。
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