focused ion beam lithography
... focused ion beam lithography 聚焦离子束光刻 Focused Ion beam microscopy 聚焦式离子束显微镜 Dual-Beam Focused Ion Beam Microscopy 双束型聚焦离子束显微镜 ...
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...thography’NGL），而这一技术的代表包括了极紫外光刻（EUVL）、 X射线光刻（XRL）、电子束光刻（EBL）、聚焦离子束光刻（FIBL）以及纳米压 印光刻（NlL）等。
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