材料 做MEMS要做材料，SOI(绝缘层上硅)是做MEMS传感器衬底一种选择，好处是结构比较简单。
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绝缘层上硅锗 SGOI
绝缘层上硅元件 SOI Devices
绝缘层上硅晶 SOI ; Silicon-on-Insulator
及绝缘层上硅晶 Silicon-on-Insulator ; SOI
绝缘层上硅晶制程 Silicon on Insulator ; SOI
以绝缘层上硅晶制程 Silicon on Insulator
绝缘层上覆硅 SOI ; Silicon on Insulator
在绝缘层上覆硅 SOI ; Silicon on Insulator
尤其绝缘层上应变硅 strained silicon-on-insulator
绝缘层上硅
Insulating layer of silicon
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