013 绝缘体上硅锗(SGOI)和绝缘体上锗(GOI)衬底的制造方法 [摘要] 一种制作绝缘体上锗(GOI)衬底材料的方法，提供了用此方法生产的GOI衬底材料以及能够包括...
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绝缘体上锗硅 SGOI ; silicon germanium on insulator
绝缘体上的硅锗 SGOI ; SiGe-on-insulator
绝缘体上的锗硅技术 SiGe on Insulator ; SGOI
绝缘体上硅锗
Silicon-germanium on insulator
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