krypton fluoride laser
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氟化氪准分子激光器 krypton fluoride excimer laser
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由于短波长激光更易造成光学元件的损伤，因此光学元件的损伤阈值限制了氟化氪激光器的能量输出。
The damage threshold of optics limits the output of KrF laser because the laser with shorter wavelength is easier to induce damage on the optical elements.
youdao
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