接着再利用原子层沉积术（AtomicLayerDeposition,ALD）制作高质量的n型ZnO薄膜，做为透明导电层、电子注入层以及可提高光萃取率的抗反射层。
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短语
原子层沉积技术
Atomic Layer Deposition
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ALD
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ALD-atomic layer deposition
用原子层沉积技术
atomic layer deposition
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ALD
采用原子层沉积技术
atomic layer deposition
使用原子层沉积技术
atomic-layer deposition