上海交通大学工程硕士学位论文热丝CVD法制备金刚石薄膜212.5本章小结试验用热丝CVD法(HFCVD)在硬质合金YG6衬底上沉积获得低摩擦系数金刚石薄膜的结构和性能进行了研究,比较了常规CVD金刚石薄膜与低摩擦系数CVD金刚石薄膜结...
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