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cvd法

网络释义

  HFCVD

上海交通大学工程硕士学位论文热丝CVD法制备金刚石薄膜212.5本章小结试验用热丝CVD法HFCVD)在硬质合金YG6衬底上沉积获得低摩擦系数金刚石薄膜的结构和性能进行了研究,比较了常规CVD金刚石薄膜与低摩擦系数CVD金刚石薄膜结...

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短语

燃烧火焰CVD法 Combustion Flame CVD

热丝CVD法 HFCVD ; hot filament chemicad vapor deposition

注入cvd法 injection cvd

火焰CVD法 flame CVD method

热丝cvd法 hot-filament method

微波cvd法 microwave plasma cvd method

常压cvd法 ordinary cvd

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