5．燃烧火焰CVD法（Combustion Flame CVD） 该方法以乙炔和氢气的混合气体为反应源，在大气压’F其燃烧火焰的内焰覆 盖区内放置衬底，温度2000～3000℃。
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燃烧火焰cvd法
Combustion flame cvd method
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