...。由于湿法酸刻蚀的各向同性效应,亚表面层的划痕和坑洞等结构性缺陷会在几何尺度上被不断复制和延展,导致元件表面粗糙度增加,面形劣化。反应离子刻蚀(RIE)是一种物理轰击和化学刻蚀相结合的刻蚀过程,通过氟碳气体放电产生活性基团,与熔石英材料表面相互作用,各向异性地去除材料表面...
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对GaN的干法腐蚀研究方法包括 活性离子腐蚀(RIE)、电子回旋共振(ECR)等离子 体腐蚀、化学辐射离子束腐蚀(CAIBE)、磁控活性 离子腐蚀(MIE)等,目前使用最多的是电磁感应耦...
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Rie Tanaka 田中理惠 ; 田中 ; 表演者
Rie Miyazawa 宫泽理惠 ; 主演宫泽理惠 ; 宫泽里惠
Rie Tomosaka 友阪理惠 ; 友坂理恵 ; 英文姓名
Rie Yamaguchi 山口理惠 ; 山口里绘 ; 山口理恵
Rie Kugimiya 钉宫理惠 ; 钉宫理恵 ; 钉宫 ; 罛
Rie Kitahara 北原里英
Tanaka Rie 田中理惠 ; 田中理恵 ; 田中 ; 理恵
Rie Komiya 小宫理英
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