VPE(VPNPE)是一种特殊的 PE,它和 CE 之间的连接方式不是传统的
DDN/E1/POS/ETH/PVC 等专线技术,而是 IPSec/L2TP/GRE/UDPVPN 等隧道技术。
VPE 完成 IPVPN 与 MPLSVPN 的融合,在网络边缘实现网络资源的逻辑划分及安全
气相外延
vapour phase epitaxy(
VPE)
一种单晶薄层生长方法。气相外延广义上是化学气相沉积的一种特殊方式,其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续,而且与衬底的晶向保持对应的关系。在半导体科学技术的发展中,气相外延发挥了重要作用,典型代表是Si气相外延和GaAs以及固溶体气相外延。Si气相外延是以高纯氢气作为输运和还原气体,在化学反应后生成Si原子并沉积在衬底上,生长出晶体取向与衬底相同的Si单晶外延层,该技术已广泛用于Si半导体器件和集成电路的工业化生产。GaAs气相外延通常有两种方法:氯化物法和氢化物法,该技术工艺设备简单、生长的GaAs纯度高、电学特性好,已广泛的应用于霍尔器件、耿氏二极管、场效应晶体管等微波器件中。
vapo(u)r phase epitaxy
其特点有(1)外延生长温度高,生长时间长,因而可以制造较厚的外延层;(2)在外延过程中可以任意改变杂质的浓度和导电类型。
常见的硅气相外延的概念、原理:用硅的气态化合物(如:SiCl4、SiH4)在加热的硅衬底表面与氢气发生化学反应或自身发生热分解,还原成硅,并以单晶形式淀积在硅衬底表面。
