【高能离子注入】

高能离子注入

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短语

高能离子注入靶室 MeV ion implantation chamber

电子、通信与自动控制技术 | 物理学

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本文介绍了4117型串列加速器运行和改进。其中包括860型离子源电离器实验情况和从1988年以来高能离子注入实验情况。

This article introduces the operation and improvement of model 4117 tandetron, including the home-made ionizer for model 860 ion source and the work of high energy implantation since 1988.

youdao

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