inelastic electron scattering
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非弹性电子散射，是指具有一定能量的电子与物体发生非弹性碰撞的过程。被散射电子的波长改变（见电子衍射），损失的能量导致物体内部的某些激发效应，其表现形式可以是背散射电子、二次电子、俄歇电子、标识和连续X射线、热辐射、紫外线和可见光区域的光子等，也可以是等离子激元的激发。
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